安捷伦多技术方法结合表征剥离液有机组分

时间: 2025-08-13 13:46:10 |   作者: 爱游戏网页版

　　本应用简报介绍了使用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 等技术共同表征剥离液的方法。HPLC-UV 可用于初步表征样品中具有紫外吸收的化合物，并作为产品质量控制的常规手段；而 GC-MS 和 LC-MS 不仅仅可以检出不含紫外官能团的低浓度化合物，还能够对化合物进行定性和定量分析，适用于剥离液的含量测定、杂质研究和配方剖析。

　　光刻是一种在薄膜或基板（也称为“晶圆”）上对零件图形化的 精密加工工艺。光刻技术利用光将几何图形从光掩模（也被称为 “光罩”）转移到基板上的感光（即光敏）化学光刻胶上，通过一系列化学处理将曝光图形蚀刻到材料中；或者将新材料以所需图形沉积在光刻胶下方的材料上。光刻技术大范围的应用于芯片、平 板显示器和微机电系统等的制造。在整个光刻流程中，不仅用到光刻胶，还需要用显影液、蚀刻液和剥离液等化学品。剥离作为光刻流程的重要工序之一，目的是将光刻胶从基板上彻底清除，而不腐蚀基板本身。

　　光刻胶种类很多，大致分为正性和负性光刻胶两大类。不同的光刻制程所用的光刻胶材料也有区别。为了充分剥离附着在基板上的光刻胶，需要依据光刻胶的种类和结构特性，有明确的目的性的选择剥离液。剥离液的种类很丰富，最重要的包含正胶剥离液（水系或有机系）、剥离清洗液（铝制程）和剥离清洗液（铜制程）等。例如，针对主要成分为酚醛树脂和感光剂的 UV 光刻胶（曝光波长 465 nm/365 nm），剥离过程最重要的包含：醇胺类化合物攻击光刻胶，打断光刻胶分子链，生成分子量更小的光刻胶片段；有机溶剂渗透至光刻胶片段分子链内部，发生溶胀，然后醇醚类化合物进一步溶解溶胀后的光刻胶片段；最后，光刻胶片段分子链随喷 淋液流和清洗水流脱离基板表面[2]。

　　剥离液的主要成分包括醇、有机胺和醚类[1-4]。为保护基板不被腐蚀，可能会向剥离液中加入一些芳香族化合物、羟基化合物、苯并类化合物[5]、氨基酸、有机酸或酸酐[1]。有关剥离液的成分分析鲜有报道。本文采用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 对剥离液进行了全面表征。其中，HPLC 作为常规检验测试手段，可用于剥离液的日常检测；而 GC-MS 和 LC-MS 由于具有高灵敏度，且能根据质谱信息鉴定化合物，因此是研究应用的首选工具。另外，本文中 GC-MS 和 LC-MS 对有机胺和醚类化合物的鉴别判定的结果可以相互印证。

　　根据 EPA 方法 1633 分析水样中的全氟和多氟烷基化合物 (PFAS)

　　随着胰高血糖素样肽 1 (GLP-1) 受体激动剂的市场需求与使用日渐增长，亟需建立可靠的杂质分析方法来确保这类药物的安全性和有效性。合成 GLP-1 多肽在强制降解条件下容易通过氧化等途径发生降解[1]。本研究采用高效液相色谱 (HPLC) 系统结合 Agilent InfinityLab Pro iQ Plus 质谱检测器，监测不同 pH 值和储存条件下替尔泊肽的杂质情况。本研究表明，高灵敏度单四极杆 LC/MS 系统可简化低浓度多肽杂质的检测和监测，很适合常规质量控制 (QC) 和质量保证 (QA) 环境。

　　使用配备 FID 的 Agilent 8850 气相色谱系统来进行超快速总石油烃分析

　　本研究使用配备火焰离子化检测器 (FID) 的 Agilent 8850 气相色谱系统对土壤和水样中的总石油烃 (TPHs) 进行超快速筛查。这项快速分析采用 5 m Agilent J&W DB-5ht 分析柱和快速柱温箱升温速率，以氦气 (He) 或氢气 (H2 ) 为载气，在 2.5 分钟内成功洗脱正四十烷 (n-C40 )。根据 HJ 1021-2019、HJ 894-2017 和 ISO 16703 标准，在以下方面对系统性能进行了评估并获得了满意的结果：(A) 进样口歧视影不影响对高沸点化合物的有效分析；(B) 保留时间和响应精度；以及 (C) 线性。此外，本研究还展示了 8850 气相色谱系统的一项智能功能 ― 峰评估，该功能可自动监测进样口衬管性能，在实际样品的 TPH 筛查中，能明显提升实验室效率。

　　本应用简报证明了 Agilent 4200 TapeStation 系统和基因组 DNA ScreenTape 分析可作为最佳 QC 工具来监测从冷冻储存长达 5 年的血沉棕黄层中提取的 gDNA 的完整性。此外，它还描述了如何应用 TapeStation 系统的客观质量指标，即 DNA 完整值 (DIN)，来评估血液处理延迟对 gDNA 质量的影响。并对 DIN 值进行了比较分析，以评估各区域生物资源中心的 DNA 质量。最后，分析了 Biobanque de Picardie 与其研究合作伙伴之间 DIN 测量的相关性。拥有 DIN 质量指标的 QC 步骤使 Biobanque de Picardie 能够确认生物样品处理工作流程的稳定性，并验证所有 CKD-REIN 样品均为高质量，且适用于 GWAS。

　　本应用简报展示了使用 Agilent 8890 气相色谱与 Agilent 7010 GC/MS 三重四极杆质谱的联用系统同时检测和定量亚麻籽、孜然粉、红辣椒粉等食品中的环氧乙烷 (EtO) 和 2-氯乙醇 (2-CE)。使用 QuEChERS 萃取和分散净化过程进行样品前处理，然后通过液体进样技术进样至GC/MS/MS。基质中两种化合物的定量限 (LOQ) 均为 10 ppb。两种化合物的平均回收率范围均为 75% 至 86%。